问题
单项选择题
利用气态化合物（或化合物的混合物）在基体受热表面发生化学反应，并在该基体表面生成固态沉积物的技术称（）。
A、物理气相沉积（PVD）
B、物理气相沉积（CVD）
C、化学气相沉积（VCD）
D、化学气相沉积（CVD）
答案
参考答案：D
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利用气态化合物（或化合物的混合物）在基体受热表面发生化学反应，并在该基体表面生成固态沉积物的技术称（）。
A、物理气相沉积（PVD）
B、物理气相沉积（CVD）
C、化学气相沉积（VCD）
D、化学气相沉积（CVD）
参考答案：D