参考答案：

工艺参数：杂质种类、杂质注入浓度、杂质注入深度

设备参数：弧光反应室的工作电压与电流、热灯丝电流、离子分离装置的分离电压及电流、质量分析器的磁场强度、加速器的加速电压、扫描方式及次数