问题 问答题 简答题

具体描述CMOS集成电路的工艺流程是怎样的?

答案

参考答案:

衬底;P阱的制作;场氧氧化、确定有源区;生长多晶硅栅;形成PMOS的源、漏区;形成NMOS的源、漏区;生长PSG;制作电极引线;后工序加工。

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