下图表示的是物质A～G相互间的关系（“ →” 表示物质间存在的转化关系，“—”表示两端的物质能发生化学反应）A、F都是单质；F是使用最多的金属材料； B是导致温室效应的主要气体；在工业上，C广泛用于玻璃、造纸、纺织和洗涤剂的生产等；E是一种蓝色溶液。请回答：

⑴C的化学式______________，G可能是______________。

⑵写出E的一种用途________________。

⑶写出标号①、②的化学反应方程式：

①__________________________________________。

②____________________________________________，反应的类型属于____________。

⑷分类观是化学的核心观念之一。以上7种物质中属于氧化物的是______________（填化学式，下同），属于盐类的是_______________________。

什么是MEMS？它主要包括哪几个部分？并简述各个部分的功能。