参考答案：

微电子机械系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。

主要包括微型传感器、执行器和相应的处理电路三部分。

微型传感器：可以把能量从一种形式转化为另一种形式，从而将现实世界的信号（如热、运动等信号）转化为系统可以处理的信号（如电信号）。

执行器：根据信号处理电路发出的指令自动完成人们所需要的操作。

处理器：可以进行信号转换、放大和计算等处理。