消防救生照明线线体发光度测量方法正确的是（）。

A.用精度不低于±5%的亮度测量仪，分别测量照明线体3个不同发光部位的亮度值，计算其平均值作为测量结果

B.用精度不低于±6%的亮度测量仪，分别测量照明线体2个不同发光部位的亮度值，计算其平均值作为测量结果

C.用精度不低于±6%的亮度测量仪，分别测量照明线体3个不同发光部位的亮度值，计算其平均值作为测量结果

D.用精度不低于±5%的亮度测量仪，分别测量照明线体5个不同发光部位的亮度值，计算其平均值作为测量结果

大硅片上生长的（）的不均匀和各个部位刻蚀速率的不均匀会导致刻蚀图形转移的不均匀性。

A.薄膜厚度

B.图形宽度

C.图形长度

D.图形间隔