转动机械检修完毕后，转动部分的（）应牢固地装复，否则不准起动。在转动机械试运行起动时，除运行操作人员外，其他人员应（），站在转动机械的（）位置，以防止转动部分飞出伤人。

离子注入中高能量意味着注入硅片更深处，低能量则用于超浅结注入。