东汉崔《政论》说：“（赵过）教民耕植，其法：三犁共一牛，一人将之，下种、挽耧皆取备焉，日种一顷。”材料中描述的农业生产工具是

什么是MEMS？它主要包括哪几个部分？并简述各个部分的功能。