参考答案：

（1）减少侧蚀，提高蚀刻系数

（2）提高整个板子表面蚀刻速率的均匀性

（3）成批蚀刻的板子应保证蚀刻质量的均匀性

（4）减少污染的问题

（5）蚀刻设备的维护