问题
多项选择题
干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。
A.离子、电子
B.中性原子
C.分子
D.自由基
答案
参考答案：A, B, C, D
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干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。
A.离子、电子
B.中性原子
C.分子
D.自由基
参考答案：A, B, C, D