参考答案：

1）控制活性粒子和非活性粒子的污染；

2）迅速、有效地吸收粒子并送出室外；

3）防止活性粒子聚积；

4）防止洁净室（区）和外环境之间的交叉污染；

5）提供相应的空气温度和湿度，提高工作人员的舒适性。