晶体硅是一种重要的非金属材料。制备纯硅的主要步骤如下：
①高温下用碳还原二氧化硅制得粗硅；
②粗硅与干燥HCl气体反应制得SiHCl3：Si+3HCl
SiHCl3+H2；
③SiHCl3与过量H2在1000～1100℃反应制得纯硅。已知SiHCl3能与H2O剧烈反应，在空气中易自燃。
请回答下列问题：
(1)第①步制备粗硅的化学方程式为________________。
(2)粗硅与HCl反应完全后，经冷凝得到的SiHCl3(沸点33.0℃)中含有少量SiCl4（沸点57.6℃）和HCl（沸点 - 84.7℃），提纯SiHCl3的方法为_________________。
(3)用SiHCl3与过量H2反应制备纯硅的装置如图所示（热源及夹持装置均已略去）：
①装置B中的试剂是_______，装置C中的烧瓶需要加热，其目的是________。
②装置D中发生反应的化学方程式为_____________________。
③为保证制备纯硅实验的成功，操作的关键是检查实验装置的气密性，控制好反应温度以及________。
