参考答案：

（1）灵敏度：指仪器反映地球物理场参数，如强度等最小变化的能力（敏感程度）。有时也称分辨率。对于用数码显示器读取地球物理场参数的仪器，在其读数装置上估读的最小可分辨的变化，称为显示灵敏度（读数能力），如质子磁力仪1nT/字，0.1nT/字等。由于仪器有一个噪声水平问题，因此灵敏度与显示灵敏度在概念上是有区别的。

（2）精密度：它是衡量仪器重复性的指示，是指仪器自身测定地球物理场的各种参数所能达到的最小可靠值。由一组测定值与平均值的偏差表示。在仪器说明书上，称为自身重复精度。

（3）准确度：系指仪器测定真值的能力，即与真值相比的总误差。