参考答案：

（1）确认仪表能正常使用；

（2）投用硅烷储罐氮封；

（3）计算好硅烷桶的填充数量，将桶运至现场；

（4）把硅烷卸桶泵、硅烷桶和储罐卸料管线相连好；

（5）把硅烷卸桶泵的气源管线连接好，投用硅烷桶氮封，打开卸料线上的手阀；

（6）启动打开卸桶泵气源，气动泵，打开卸料气动阀将硅烷全部加入到储罐中；

（7）关闭卸桶泵气源，关闭卸料气动阀和手阀，脱开硅烷卸桶泵、硅烷桶和储罐卸料管线连接，清理现场。