参考答案：

器件模拟概念：给定器件结构和掺杂分布，采用数值方法直接求解器件的基本方程，得到直流（DC）、交流（AC）、瞬态特性和某些电学参数。

工艺模拟概念：对工艺过程建立数学模型，在某些已知工艺参数的情况下，对工艺过程进行数值求解，计算经过该工序后的杂质浓度分布、结构特性变化（厚度和宽度变化）或应力变化（氧化、薄膜淀积、热过程等引起）。