参考答案：

静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。

⑴接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.5×10-8cm时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷；

⑵感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷；

⑶剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电；

⑷摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移。