问题 多项选择题

微电子领域内,下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为()。

A.台阶仪

B.干涉显微镜

C.光切显微镜

D.扫描电镜

E.椭偏仪

答案

参考答案:A, B, C, D

选择题
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