问题 多项选择题

净化室将硅片制造设备与外部环境隔离,免受诸如()的沾污。

A.颗粒

B.金属

C.有机分子

D.静电释放(ESD)

E.水

答案

参考答案:A, B, C, D

单项选择题
单项选择题