问题 多项选择题

为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。

A.低电阻率

B.易与p或n型硅形成欧姆接触

C.可与硅或二氧化硅反应

D.易于光刻

E.便于进行键合

答案

参考答案:A, B, D, E

单项选择题 共用题干题
单项选择题