问题
多项选择题
为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。
A.低电阻率
B.易与p或n型硅形成欧姆接触
C.可与硅或二氧化硅反应
D.易于光刻
E.便于进行键合
答案
参考答案:A, B, D, E
为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。
A.低电阻率
B.易与p或n型硅形成欧姆接触
C.可与硅或二氧化硅反应
D.易于光刻
E.便于进行键合
参考答案:A, B, D, E