问题 多项选择题

薄膜沉积的机构包括那些步骤()。

A.形成晶核

B.晶粒成长

C.晶粒凝结

D.缝道填补

E.沉积膜成长

答案

参考答案:A, B, C, D, E

单项选择题
多项选择题