问题
多项选择题
晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。
A.粒子扩散
B.从气体源通过强迫性的对流传送
C.化学反应
D.被表面吸附
E.静电吸引
答案
参考答案：A, B, C, D
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晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。
A.粒子扩散
B.从气体源通过强迫性的对流传送
C.化学反应
D.被表面吸附
E.静电吸引
参考答案：A, B, C, D