问题 单项选择题

在刻蚀()过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气,能够提高刻蚀的速率。

A.铜

B.铝

C.金

D.二氧化硅

答案

参考答案:D

单项选择题
单项选择题 A1型题