问题 多项选择题

在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。

A.使薄膜的介电常数变大

B.可能引入杂质

C.可能使薄膜层间短路

D.使薄膜介电常数变小

E.可能使薄膜厚度增加

答案

参考答案:B, C

选择题
单项选择题