问题
多项选择题
在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。
A.使薄膜的介电常数变大
B.可能引入杂质
C.可能使薄膜层间短路
D.使薄膜介电常数变小
E.可能使薄膜厚度增加
答案
参考答案:B, C
在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。
A.使薄膜的介电常数变大
B.可能引入杂质
C.可能使薄膜层间短路
D.使薄膜介电常数变小
E.可能使薄膜厚度增加
参考答案:B, C