问题 多项选择题

离子注入的主要气体源中,剧毒的有()。

A.砷化氢

B.二硼化氢

C.四氟化硅

D.三氟化磷

E.五氟化磷

答案

参考答案:A, B, C, D

单项选择题
单项选择题