问题
多项选择题
晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。
A.除去光刻胶中剩余的溶剂
B.增强光刻胶对晶片表面的附着力
C.提高光刻胶的抗刻蚀能力
D.有利于以后的去胶工序
E.减少光刻胶的缺陷
答案
参考答案:A, B, C, E
晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。
A.除去光刻胶中剩余的溶剂
B.增强光刻胶对晶片表面的附着力
C.提高光刻胶的抗刻蚀能力
D.有利于以后的去胶工序
E.减少光刻胶的缺陷
参考答案:A, B, C, E