问题 多项选择题

晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。

A.除去光刻胶中剩余的溶剂

B.增强光刻胶对晶片表面的附着力

C.提高光刻胶的抗刻蚀能力

D.有利于以后的去胶工序

E.减少光刻胶的缺陷

答案

参考答案:A, B, C, E

单项选择题 B型题
单项选择题