问题
多项选择题
下列有关曝光系统的说法正确的是()。
A.投影式同接触式相比,掩模版的利用率比较高
B.接触式的分辨率优于接近式
C.接近式的分辨率受到衍射的影响
D.投影式曝光系统中不会产生衍射现象
E.投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
答案
参考答案:A, B, C, E
下列有关曝光系统的说法正确的是()。
A.投影式同接触式相比,掩模版的利用率比较高
B.接触式的分辨率优于接近式
C.接近式的分辨率受到衍射的影响
D.投影式曝光系统中不会产生衍射现象
E.投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
参考答案:A, B, C, E