问题 多项选择题

在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。

A.CA光刻胶对深紫外光吸收小

B.CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化

C.CA光刻胶在显影液中的可溶性强

D.有较高的光敏度

E.有较高的对比度

答案

参考答案:A, B, C, D, E

单项选择题 A1/A2型题
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