问题 多项选择题 在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。A.CA光刻胶对深紫外光吸收小B.CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化C.CA光刻胶在显影液中的可溶性强D.有较高的光敏度E.有较高的对比度 答案 参考答案:A, B, C, D, E