问题 多项选择题

下列可作为磷扩散源的是()。

A.磷钙玻璃

B.三氯氧磷

C.三氯化磷

D.磷烷

E.掺磷二氧化硅乳胶源

答案

参考答案:A, B, C, D, E

填空题
单项选择题 A3/A4型题