问题
单项选择题
He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。
A.活跃杂质
B.快速扩散杂质
C.有害杂质
D.扩散杂质
答案
参考答案：B
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He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。
A.活跃杂质
B.快速扩散杂质
C.有害杂质
D.扩散杂质
参考答案：B
