问题
多项选择题
二氧化硅膜的质量要求有（）。
A.薄膜表面无斑点
B.薄膜中的带电离子含量符合要求
C.薄膜表面无针孔
D.薄膜的厚度达到规定指标
E.薄膜厚度均匀，结构致密
答案
参考答案：A, B, C, D, E
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二氧化硅膜的质量要求有（）。
A.薄膜表面无斑点
B.薄膜中的带电离子含量符合要求
C.薄膜表面无针孔
D.薄膜的厚度达到规定指标
E.薄膜厚度均匀，结构致密
参考答案：A, B, C, D, E