问题 单项选择题

二氧化硅生长过程中,当分凝系数小于1时,会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度()。

A.降低

B.增加

C.不变

D.先降低后增加

答案

参考答案:A

选择题
单项选择题