干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

A.生长的二氧化硅薄膜均匀性好

B.生长的二氧化硅干燥

C.生长的二氧化硅结构致密

D.生长的二氧化硅是很理想的钝化膜

E.生长的二氧化硅掩蔽能力强