硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于()。
a.体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工;
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工;
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构,而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构;
参考答案:A
硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于()。
a.体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工;
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工;
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构,而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构;
参考答案:A