问题
问答题 简答题
当吸附膜是绝缘材料、导电体或金属氧化物半导体时，SAW气敏传感器的敏感机理？
答案
参考答案：
当薄膜是绝缘材料时，它吸附气体引起密度的变化，进而引起SAW延迟线振荡器频率的偏移；当薄膜是导电体或金属氧化物半导体膜时，主要是由于导电率的变化引起SAW延迟线振荡器频率的偏移。
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当吸附膜是绝缘材料、导电体或金属氧化物半导体时，SAW气敏传感器的敏感机理？
参考答案：
当薄膜是绝缘材料时，它吸附气体引起密度的变化，进而引起SAW延迟线振荡器频率的偏移；当薄膜是导电体或金属氧化物半导体膜时，主要是由于导电率的变化引起SAW延迟线振荡器频率的偏移。