个投影曝光系统采用ArF光源，数值孔径为0.6，设k1=0.6，n=0.5，计算其理论分辨率和焦深。
参考答案：
分辨率：
焦深：
汽轮机正常运行，当发生甩负荷时，胀差出现负值大时，易造成喷嘴出口与动叶进汽侧磨损
不是影响注入压力上升的因素是（）。
A、注入强度
B、油层的KH值
C、油层的非均质性
D、注入粘度
