参考答案：

不能！聚焦深度：在保持图形聚焦的前提下，沿着光路方向晶圆片移动的距离是聚焦深度——

，NA为数值孔径，意味着增加分辨率会减小聚焦深度，因此分辨率和聚焦深度之间必须做某些折中。