参考答案：

（1）反应气体从腔体入口向晶圆片附近输运；

（2）这些气体反应生成系列次生分子；

（3）这些反应物输运到晶圆片表面；

（4）表面反应释放出硅；

（5）气体副产物解吸附；

（6）副产物离开晶圆片表面的输运；

（7）副产物离开反应器的输运