问题 问答题 论述题

什么是离子注入的横向效应?同等能量注入时,As和B哪种横向效应更大?为什么?

答案

参考答案:

横向效应:注入的离子在垂直于入射方向平面内的分布情况。横向效应与注入离子的种类和离子能量有关。B的横向效应更大,因为质量小的离子速度更高,与靶材原子作用时间短。

计算题
单项选择题