问题
问答题 简答题
定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？
答案
参考答案：
刻蚀速率=△T/t（A/min）△T=去掉材料的厚度t=刻蚀所用的时间高的刻蚀速率，可以通过精确控制刻蚀时间来控制刻蚀的厚度。
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定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？
参考答案：
刻蚀速率=△T/t（A/min）△T=去掉材料的厚度t=刻蚀所用的时间高的刻蚀速率，可以通过精确控制刻蚀时间来控制刻蚀的厚度。