参考答案：

1，分滴，当硅片静止或者旋转得非常缓慢时，光刻胶被分滴在硅片上

2，旋转铺开，快速加速硅片的旋转到一高的转速使光刻胶伸展到整个硅片表面

3，旋转甩掉，甩去多余的光刻胶，在硅片上得到均匀的光刻胶胶膜覆盖层

4，溶剂挥发，以固定转速继续旋转已涂胶的硅片，直至溶剂挥发，光刻胶胶膜几乎干燥。