问题 问答题 简答题

什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?

答案

参考答案:

硅化物是难熔金属与硅反应形成的金属化合物,是一种具有热稳定性的金属化合物,并且在硅/难熔金属的分界面具有低的电阻率。难熔金属硅化物的优点和其作用:

1、降低接触电阻,

2、作为金属与有源层的粘合剂。

3、高温稳定性好,抗电迁移性能好4、可直接在多晶硅上淀积难熔金属,经加温处理形成硅化物,工艺与现有硅栅工艺兼容。

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