参考答案：

（1）晶核形成

分离的小膜层形成于衬底表面，是薄膜进一步生长的基础。

（2）凝聚成束

形成（Si）岛，且岛不断长大

（3）连续成膜

岛束汇合并形成固态的连续的薄膜淀积的薄膜可以是单晶（如外延层）、多晶（多晶硅栅）和无定形（隔离介质，金属膜）的。