参考答案：

薄膜：指某一维尺寸远小于另外两维上的尺寸的固体物质。

好的台阶覆盖能力、高的深宽比填隙能力（>3：1）

厚度均匀（避免针孔、缺陷）、高纯度和高密度、受控的化学剂量

结构完整和低应力、好的粘附性（避免分层、开裂致漏电）