参考答案：

半导体质量测量定义了硅片制造的规范要求，以确保满足器件的性能和可靠性。集成电路制造中的12种不同的质量测量：

1.膜厚

2.方块电阻

3.膜应力

4.折射率

5.掺杂浓度

6.无图形表面缺陷

7.有图形表面缺陷

8.关键尺寸

9.台阶覆盖

10.套刻标记

11.电容-电压特性

12.接触的角度