问题
问答题 简答题
例举得到半导体级硅的三个步骤。半导体级硅的纯度能达到多少?
答案
参考答案:
第一步:用碳加热硅石来制备冶金级硅
第二步:通过化学反应将冶金级硅提纯以生成三氯硅烷
第三步:利用西门子方法,通过三氯硅烷和氢气反应来生产半导体级硅
纯度能达到99.99999999%
例举得到半导体级硅的三个步骤。半导体级硅的纯度能达到多少?
参考答案:
第一步:用碳加热硅石来制备冶金级硅
第二步:通过化学反应将冶金级硅提纯以生成三氯硅烷
第三步:利用西门子方法,通过三氯硅烷和氢气反应来生产半导体级硅
纯度能达到99.99999999%