参考答案：

以P₂O₂杂质源为例来说明SiO₂的掩蔽过程：当P₂O₂与SiO₂接触时，SiO₂就转变为含磷的玻璃体。A.扩散刚开始，只有靠近表面的SiO₂转变为含磷的玻璃体。B.大部分SiO₂层已转变为含磷的玻璃体。C.整个SiO₂层都转变为含磷的玻璃体。D.在SiO层完全转变为玻璃体后，又经过一定时间，SiO₂层保护的硅中磷已经扩进一定深度。