问题 多项选择题

按蒸发源加热方法的不同,真空蒸发工艺可分为:()蒸发、()蒸发、离子束蒸发等。

A.电阻加热

B.电子束

C.蒸气原子

答案

参考答案:A, B

单项选择题
多项选择题