硅外延生长工艺包括（）。
A.衬底制备
B.原位HCl腐蚀
C.生长温度，生长压力，生长速度
D.尾气的处理
参考答案：A, B, C, D
简述电动式EPS的工作原理？其优点？
画机件的立体图通常采用（）投影法。
A.轴测
B.中心
C.平行
D.正
