硅外延生长工艺包括()。
A.衬底制备
B.原位HCl腐蚀
C.生长温度,生长压力,生长速度
D.尾气的处理
参考答案:A, B, C, D
在整个通风系统中,定子风阻占总风阻的()左右。
A.50%;
B.60%;
C.70%;
D.80%;
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