参考答案：

外延要求：1.集电极击穿电压要求

                  2.集电极串联电阻要小.

                  3.高频大功率小型化.

刻蚀要求：1.图形转换的保真度高

                  2.选择比高.

                  3.刻蚀速率高.

                  4.刻蚀剖面.

                  5.刻蚀偏差.

                  6.刻蚀因子大.

                  7.均匀性.