问题
问答题 简答题
典型的GaAsMESFET结构IC的工艺流程?
答案
参考答案:
存底的制备----硅氧化---生长埋层---外延生长---生长隔离区---生长基区---发射区及集电极接触区生长---形成金属互连---集成电路成品。
典型的GaAsMESFET结构IC的工艺流程?
参考答案:
存底的制备----硅氧化---生长埋层---外延生长---生长隔离区---生长基区---发射区及集电极接触区生长---形成金属互连---集成电路成品。